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流体控制装置制造方法及图纸
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文档序号:23563537
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本发明提供一种为了对保持在不同温度的流体加热部适当地进行温度控制的流体控制装置(100),其具备:在内部设置有流路或流体容纳部且相互连接的多个流体加热部(1);以将多个流体加热部加热到不同温度的方式构成的加热器(10);以及配置在邻接的流体...
该专利属于株式会社富士金所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社富士金授权不得商用。
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