下载一种含有浮空区包围背面槽栅的逆导型IGBT的技术资料

文档序号:23560547

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本发明提供了一种逆导型绝缘栅双极型晶体管(Reverse Conducting Insulated Gate Bipolar Transistor,RC‑IGBT)器件,其含有背面槽型栅极结构。所述背面槽型栅极结构与第一导电类型的漂移区通过...
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