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本发明提供一种浅沟槽隔离结构及其制作方法，该制作方法包括以下步骤：提供衬底，形成隔离沟槽于衬底中，以在衬底中界定出多个有源区；形成第一填充介质于隔离沟槽的侧壁；形成牺牲层于第一填充介质的侧壁；形成第二填充介质于隔离沟槽中剩余的空间；去除牺牲...
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