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一种晶圆级封装检测结构及方法技术
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文档序号:23560368
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本发明涉及封装检测技术领域,涉及一种晶圆级封装检测结构及方法。通过在封装芯片上的设置测试焊垫,在通过测试机台检测与测试焊垫连接的独立背金块,可快速检测封装过程中TSV孔内的背金金属与焊垫的连接是否充分,如果发生批量异常,可以及时停止生产,避...
该专利属于苏州科阳光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州科阳光电科技有限公司授权不得商用。
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