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本发明提供了一种平面三自由度精密定位平台、其使用方法与控制方法。该定位平台包括基座以及位于基座上的动平台、传动机构以及四个音圈电机；传动机构包含四条柔性支链，每条柔性支链包含三个柔性P单元与一个柔性R单元，通过柔性P单元的结构设计、各柔性P...
该专利属于中国科学院宁波材料技术与工程研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院宁波材料技术与工程研究所授权不得商用。

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