下载微机电系统器件的技术资料

文档序号:23551708

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本公开提供一种微机电系统器件,所述微机电系统器件包括:基板;微机电系统元件部,设置在所述基板的表面上;盖,具有形成为与所述微机电系统元件部相对的腔;以及扩散防止层,形成在所述盖的至少部分上,其中,所述盖和所述基板中的至少一个包括设置在所述腔...
该专利属于三星电机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电机株式会社授权不得商用。

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