专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
三星电机株式会社
>
微机电系统器件技术方案
>技术资料下载
下载微机电系统器件的技术资料
文档序号:23551708
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本公开提供一种微机电系统器件,所述微机电系统器件包括:基板;微机电系统元件部,设置在所述基板的表面上;盖,具有形成为与所述微机电系统元件部相对的腔;以及扩散防止层,形成在所述盖的至少部分上,其中,所述盖和所述基板中的至少一个包括设置在所述腔...
该专利属于三星电机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电机株式会社授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。