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本发明涉及一种硅基粉末的杂质的洗涤装置以及方法。本发明的装置包括：第一洗涤器，在外壳内部设置有第一容器，向第一容器内部投入硅基粉末、氧气以及酸洗净液，并在第一容器的外表面设置有第一加热单元，从而加热第一容器，设置于外壳的搅拌器搅拌收纳在第一...
该专利属于3S韩国株式会社;3S材料株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过3S韩国株式会社;3S材料株式会社授权不得商用。

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