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本申请公开了一种制造MEMS结构的方法，包括：在衬底的正面的外围部分形成波浪形凸起和/或凹进；在所述衬底的正面的中间部分形成压电复合振动层，并且露出所述波浪形凸起和/或凹进；在露出的所述波浪形凸起和/或凹进上方共形地形成连接件，所述连接件连...
该专利属于安徽奥飞声学科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽奥飞声学科技有限公司授权不得商用。

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