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本实用新型公开了一种连续式磁控溅射装置,包括外壳体,外壳体的底部设有抽真空管,外壳体的顶部设有导电板,导电板的顶端设有接线柱,接线柱的具有射频发生器,射频发生器与导电板电性连接,导电板的底部设有若干间隔排列的磁极端,磁极端的底部设有靶材板,...该专利属于山东天厚新材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过山东天厚新材料科技有限公司授权不得商用。
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