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本实用新型提供一种新型溅镀过程保护装置。该保护装置包括一层上、下表面各涂覆有防静电涂层的耐温薄膜（104），该薄膜的上下表面各涂布或贴合一层压敏胶（103）、（105），在上述双面胶结构中间开一排料口，其特征在于，在上层压敏胶表面贴合一层限...
该专利属于太湖金张科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过太湖金张科技股份有限公司授权不得商用。

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