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本实用新型一种可视化半导体光电化学微加工装置，所述装置包括：半导体样品、光源、电解池、恒电位仪、光学斩波器、图像采集模块和电脑处理终端；所述电解池内设有参比电极和对电极，参比电极、对电极和作为工作电极的半导体样品浸泡在电解液中，所述参比电极...
该专利属于佛山科学技术学院所有，仅供学习研究参考，未经过佛山科学技术学院授权不得商用。

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