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本发明提供一种曝光设备，其在扫描原稿和基板的同时曝光基板，所述曝光设备包括：台，所述台包括第一表面，并且能够在保持所述原稿的同时移动，在所述第一表面中形成有待被供应净化气体的第一凹入部分和第二凹入部分；以及构件，所述构件包括面向所述第一表面...
该专利属于佳能株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过佳能株式会社授权不得商用。

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