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本发明公开了一种涂胶设备和涂胶方法，涂胶设备包括：可转动的真空吸盘，所述真空吸盘用于放置所述晶圆。喷淋头，位于所述真空吸盘的上方，所述喷淋头上设置有多个喷洒孔，所述多个喷洒孔用于向真空吸盘的方向喷洒光刻胶。本发明的技术方案，可以使光刻胶可以...
该专利属于深圳市思坦科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市思坦科技有限公司授权不得商用。

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