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一种实时监测宽幅带电粒子束密度分布的探测器制造技术
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文档序号:23497514
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本发明公开了一种实时监测宽幅带电粒子束密度分布的探测器,包括若干根连接杆、上游接地电极板、下游接地电极板及均包含一绝缘基板的上游二次电子抑制电极板、束流收集板、下游二次电子抑制电极板、阻挡式接地电极板和阻挡式二次电子抑制电极板。本发明公开的...
该专利属于中国科学院近代物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院近代物理研究所授权不得商用。
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