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本发明的目的在于提供能够对切割中的碎裂或者裂缝的产生进行抑制的物理量检测传感器的制造方法和物理量检测传感器。具备下述步骤：将设置有多个传感器可动部的传感器基板和与该传感器基板的材料不同的异种基板粘贴，形成具有多个传感器器件的层叠构造；以及使...
该专利属于三菱电机株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过三菱电机株式会社授权不得商用。

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