下载一种HF反应炉的导气结构的技术资料

文档序号:23490672

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本实用新型涉及HF反应炉装置技术领域,具体为一种HF反应炉的导气结构,包括三通管,三通管的管内壁上固定连接有石墨管,石墨管上开设有聚集槽和导流槽,聚集槽一侧设置有若干均匀分布的导流槽,导流槽一端延伸到聚集槽中,三通管下端设置有控制管道和储存...
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