一种HF反应炉的导气结构制造技术

技术编号:23490672 阅读:19 留言:0更新日期:2020-03-10 15:48
本实用新型专利技术涉及HF反应炉装置技术领域,具体为一种HF反应炉的导气结构,包括三通管,三通管的管内壁上固定连接有石墨管,石墨管上开设有聚集槽和导流槽,聚集槽一侧设置有若干均匀分布的导流槽,导流槽一端延伸到聚集槽中,三通管下端设置有控制管道和储存盒,控制管道形状为S型弯折管一端连接直管,控制管道的直管贯穿储存盒,储存盒的下端设置有单向阀,单向阀位于控制管道的直管中,控制管道的直管上端延伸到聚集槽内腔中,单向阀包括密封座、密封球和拦截座,本实用新型专利技术构造设计实现在三通管中产生的氢氟酸液体的高效收集工作,避免氢氟酸液体腐蚀三通管的管壁,很具有实用性。

Gas conducting structure of HF reactor

【技术实现步骤摘要】
一种HF反应炉的导气结构
本技术涉及HF反应炉装置
,具体为一种HF反应炉的导气结构。
技术介绍
现有技术中的HF反应炉工作中会进行HF气流抽取工作,抽取的气流通过三通管位置时,会出现HF反流回去,氢氟酸液滴滴在进料管上,造成腐蚀的问题。如果将导气管倾斜设置,导气三通管内衬设石墨管或是石墨板,回流HF会沿着石墨侧壁留下,不会产生腐蚀,为此我们提供了一种HF反应炉的导气结构。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种HF反应炉的导气结构,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种HF反应炉的导气结构,包括三通管,所述三通管的管内壁上固定连接有石墨管,所述石墨管上开设有聚集槽和导流槽,所述聚集槽一侧设置有若干均匀分布的导流槽,导流槽一端延伸到聚集槽中,所述三通管下端设置有控制管道和储存盒,所述控制管道形状为S型弯折管一端连接直管,控制管道的直管贯穿储存盒,所述储存盒的下端设置有单向阀,所述单向阀位于控制管道的直管中,所述控制管道的直管上端延伸到聚集槽内腔中,所述单向阀包括密封座、密封球和拦截座,所述密封座下端设置有密封球,所述密封球下端设置有拦截座,所述密封座中嵌入有永磁环,所述密封球中嵌入有永磁球。优选的,所述永磁环形状为圆筒状,永磁环的圆筒底面上开设有弧面内凹槽,且弧面内凹槽和永磁环的圆筒内腔相连通,所述永磁环形状为圆环状,永磁环嵌入在密封座的侧壁中,密封座外壁和控制管道管内壁固定连接。优选的,所述拦截座形状为圆板且圆板上开设有若干均匀分布的柱状通孔,拦截座侧壁和控制管道的管内壁固定连接,密封球上端延伸到密封座的弧面内凹槽中。优选的,所述储存盒形状为圆板壳体一端连通圆台壳体,控制管道的直管位于储存盒的中轴线位置,控制管道的直管与储存盒内腔连通。与现有技术相比,本技术的有益效果是:1.本技术构造设计实现在三通管中产生的氢氟酸液体的高效收集工作,避免氢氟酸液体腐蚀三通管的管壁,很具有实用性;2.本技术通过单向阀和控制管道的设计,确保控制管道中不会有气流倒吸进入石墨管中,这样确保三通管导流工作的稳定进行。附图说明图1为本技术结构示意图;图2为聚集槽结构示意图。图中:1三通管、2石墨管、3聚集槽、4导流槽、5控制管道、6储存盒、7单向阀、8永磁环、9永磁球、10密封座、11密封球、12拦截座。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的技术方案,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。请参阅图1至图2,本技术提供一种技术方案:一种HF反应炉的导气结构,包括三通管1,三通管1的管内壁上固定连接有石墨管2,石墨管2上开设有聚集槽3和导流槽4,聚集槽3一侧设置有若干均匀分布的导流槽4,导流槽4一端延伸到聚集槽3中,三通管1下端设置有控制管道5和储存盒6,控制管道5形状为S型弯折管一端连接直管,控制管道5的直管贯穿储存盒6,储存盒6的下端设置有单向阀7,单向阀7位于控制管道5的直管中,控制管道5的直管上端延伸到聚集槽3内腔中,单向阀7包括密封座10、密封球11和拦截座12,密封座10下端设置有密封球11,密封球11下端设置有拦截座12,密封座10中嵌入有永磁环8,密封球11中嵌入有永磁球9,参考图1和图2,聚集槽3的具体形状为圆柱腔一端连通长方体状棱柱腔,聚集槽3的棱柱腔和石墨管2内腔连通,图1所示,聚集槽3的圆柱腔长度长于棱柱腔,这样液体的流动最终汇聚到聚集槽3的圆柱腔中,控制管道5、储存盒6和单向阀7制作材料均为耐腐蚀材料。永磁环8形状为圆筒状,永磁环8的圆筒底面上开设有弧面内凹槽,且弧面内凹槽和永磁环8的圆筒内腔相连通,永磁环8形状为圆环状,永磁环8嵌入在密封座10的侧壁中,密封座10外壁和控制管道5管内壁固定连接。拦截座12形状为圆板且圆板上开设有若干均匀分布的柱状通孔,拦截座12侧壁和控制管道5的管内壁固定连接,密封球11上端延伸到密封座10的弧面内凹槽中,永磁环8和永磁球9均为磁性材料,磁性相反,互相吸引,参考图1,图1所示的状态为没有氢氟酸液体流动的情况,此时永磁环8和永磁球9互相吸引,永磁球9移动带动密封球11,密封球11延伸到永磁环8弧面内凹槽中,即密封座10和密封球11配合实现密封。储存盒6形状为圆板壳体一端连通圆台壳体,控制管道5的直管位于储存盒6的中轴线位置,控制管道5的直管与储存盒6内腔连通。工作原理:氢氟酸气体在石墨管2内壁上产生液滴,液滴顺着石墨管2内壁流动,经过导流槽4的汇聚,液体汇聚在聚集槽3中,随后液体流进控制管道5直管中,随后聚集在储存盒6中,当液体压力影响大于永磁环8和永磁球9的吸引影响,液体推动密封球11,密封座10和密封球11不再契合,即密封状态被打破,液体顺利通过单向阀7进入控制管道5的S型管中,控制管道5的S型管可以聚集一定的氢氟酸液体,这样避免气压影响使外界气体通过控制管道5进入石墨管2中,造成损失,液体最终通过控制管道5而被回收。尽管已经示出和描述了本技术的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种HF反应炉的导气结构,包括三通管(1),其特征在于:所述三通管(1)的管内壁上固定连接有石墨管(2),所述石墨管(2)上开设有聚集槽(3)和导流槽(4),所述聚集槽(3)一侧设置有若干均匀分布的导流槽(4),导流槽(4)一端延伸到聚集槽(3)中,所述三通管(1)下端设置有控制管道(5)和储存盒(6),所述控制管道(5)形状为S型弯折管一端连接直管,控制管道(5)的直管贯穿储存盒(6),所述储存盒(6)的下端设置有单向阀(7),所述单向阀(7)位于控制管道(5)的直管中,所述控制管道(5)的直管上端延伸到聚集槽(3)内腔中,所述单向阀(7)包括密封座(10)、密封球(11)和拦截座(12),所述密封座(10)下端设置有密封球(11),所述密封球(11)下端设置有拦截座(12),所述密封座(10)中嵌入有永磁环(8),所述密封球(11)中嵌入有永磁球(9)。/n

【技术特征摘要】
1.一种HF反应炉的导气结构,包括三通管(1),其特征在于:所述三通管(1)的管内壁上固定连接有石墨管(2),所述石墨管(2)上开设有聚集槽(3)和导流槽(4),所述聚集槽(3)一侧设置有若干均匀分布的导流槽(4),导流槽(4)一端延伸到聚集槽(3)中,所述三通管(1)下端设置有控制管道(5)和储存盒(6),所述控制管道(5)形状为S型弯折管一端连接直管,控制管道(5)的直管贯穿储存盒(6),所述储存盒(6)的下端设置有单向阀(7),所述单向阀(7)位于控制管道(5)的直管中,所述控制管道(5)的直管上端延伸到聚集槽(3)内腔中,所述单向阀(7)包括密封座(10)、密封球(11)和拦截座(12),所述密封座(10)下端设置有密封球(11),所述密封球(11)下端设置有拦截座(12),所述密封座(10)中嵌入有永磁环(8),所述密封球(11)中嵌入有永磁球(9)。

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【专利技术属性】
技术研发人员:候国军娄宪法杨丹
申请(专利权)人:焦作市增氟科技有限公司
类型:新型
国别省市:河南;41

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