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本实用新型提供一种便于控制研磨去除量的游行轮，涉及晶片打磨领域。该便于控制研磨去除量的游行轮，包括研磨腔、主动旋转轴和主动齿轮，所述主动旋转轴转动连接在研磨腔的中心并延伸至研磨腔的下方，主动齿轮固定套接在主动旋转轴位于研磨腔内部的外表面，研...
该专利属于常州市好利莱光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州市好利莱光电科技有限公司授权不得商用。

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