下载用于纳米压印的印模的技术资料

文档序号:23484579

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本公开涉及一种用于纳米压印的印模,所述印模包括基体基底、设置在所述基体基底上并具有不同宽度的第一图案部分和第二图案部分以及具有不同宽度的第三图案部分和第四图案部分。所述第一图案部分至所述第四图案部分中的每个包括多个纳米图案,并且所述第一图案...
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