下载主轴装置的技术资料

文档序号:23481845

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本发明提供一种主轴装置(20),在罩部件(28)设有可动部件(90),该罩部件(28)安装于主轴壳体(24),并覆盖作为圆盘状旋转部的卡盘部(30)的外周面。可动部件(90)通过流向形成于罩部件(28)的流路(28a)的气体而可动并与卡盘部...
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