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一种光阻处理系统以处理一基板所承载的磁性光阻，其中该光阻处理系统包含一固持装置以及一磁性装置。该固持装置具有至少一结合区，用以配置该基板；该磁性装置置于距离该结合区的一预定位置上，且该磁性装置具有一磁吸方向，对应于该结合区，其中该磁性装置所...
该专利属于创王光电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过创王光电股份有限公司授权不得商用。

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