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本发明提供一种漂移探测器的制备方法，包括，在衬底的两面分别形成第一掩蔽层和第二掩蔽层，选择性去除第一掩蔽层和第二掩蔽层以形成第一隔离区和第二隔离区，对第一隔离区进行离子掺杂形成第一掺杂隔离区，在第一掺杂隔离区和第二隔离区表面分别形成第一隔离...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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