下载机台检测系统及检测方法的技术资料

文档序号:23444999

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本发明公开了一种机台检测系统,该系统包括机台及安装于机台的第二编码器,其中机台至少包括控制器、马达、床台及第一编码器。其中控制器用以设定检测模式并发出命令至马达;马达接收由控制器传送的命令以带动床台相对于机台移动时产生实际位移;以及第一编码...
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