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本发明属于化学制剂技术领域，涉及一种用于叠层晶圆的光刻胶剥离液，配方包括10～20wt％二甲基亚砜，10～20wt％一乙醇胺，5～11wt％四甲基氢氧化铵，0.1～1wt％硫脲类缓蚀剂和0.1～2wt％聚氧乙烯醚类非离子型表面活性剂，5～1...
该专利属于苏州博洋化学股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州博洋化学股份有限公司授权不得商用。

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