下载一种控制平台出板距离的激光直写曝光系统及曝光方法的技术资料

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本发明公开了一种控制平台出板位置的激光直写曝光系统及曝光方法,属于激光直写曝光技术领域。所述系统根据板材资料输入装置输入的待曝光板材资料计算工件台出板距离,并根据计算出的出板距离控制工件台将待曝光板材运输至相应的曝光位置,以便曝光设备对板材...
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