下载一种上下料工作台装置的技术资料

文档序号:23438662

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本发明提供一种上下料工作台装置,属于半导体检测设备技术领域,包括:桌面板、水平行走机构、举升机构和检测组件,所述水平行走机构上具有可沿所述桌面板进行水平滑动的连接板,所述连接板适于承载具有多个料位的料盘;所述举升机构上具有可相对于所述桌面板...
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