下载硅片装盒机的技术资料

文档序号:23438362

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本发明公开了一种硅片装盒机,包括主机架台、转盘、机械抓手、装盒机构、夹层配置机构,夹层配置机构设置于主机架台的一侧,用于配置各种不同类型的夹层;两个转盘并排安装于主机架台的台面上,转盘用筛选不同品质的硅片;机械抓手安装于两个转盘与夹层配置机...
该专利属于杭州中为光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州中为光电技术有限公司授权不得商用。

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