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一种BCE IGZO TFT器件及其制作方法,其特征在于,包含提供一基板,沉积一第一金属层于所述基板上,所述第一金属层透过图案化工艺,形成一栅极和一第一电极层,沉积一栅极绝缘层于所述基板、所述栅极和所述第一电极层上,所述栅极绝缘层透过蚀刻工...该专利属于深圳市华星光电半导体显示技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市华星光电半导体显示技术有限公司授权不得商用。
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一种BCE IGZO TFT器件及其制作方法,其特征在于,包含提供一基板,沉积一第一金属层于所述基板上,所述第一金属层透过图案化工艺,形成一栅极和一第一电极层,沉积一栅极绝缘层于所述基板、所述栅极和所述第一电极层上,所述栅极绝缘层透过蚀刻工...