下载一种基区环掺杂抗辐射横向PNP晶体管及制备方法的技术资料

文档序号:23402746

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本发明公开了一种基区环掺杂抗辐射横向PNP晶体管及制备方法,在通过传统形成横向PNP晶体管结构之后,通过光刻胶掩蔽注入的方法在横向PNP晶体管N型基区表面进行一次N型杂质注入,在N型基区表面形成一个环形的N+掺杂区,将横向PNP晶体管的基区...
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