下载结晶性半导体膜和板状体以及半导体装置的技术资料

文档序号:23402723

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本发明提供半导体特性优异、特别是可抑制漏电流,耐压性和放热性优异的半导体膜和板状体,以及半导体装置。本发明提供结晶性半导体膜或板状体、以及具备含有所述结晶性半导体膜或所述板状体的半导体结构的半导体装置,所述结晶性半导体膜的特征在于,含有具有...
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