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本发明公开一种单晶硅片图形夹角快速识别方法，包括：在光刻版(1)的对准线条(4)的垂直方向设置相距一定距离的两个等步距一维阵列式识别标尺(5)，将光刻版(1)上的标尺(5)转置至硅片晶圆(2)的主参考边(3)两端，观察读出识别标尺(5)分别...该专利属于中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所授权不得商用。