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本发明涉及一种基板干燥装置，它包括：腔室；喷淋单元，所述喷淋单元设置在所述腔室中；供给单元Ⅰ，所述供给单元Ⅰ与所述喷淋单元相连接，用于供给干燥液体；减压单元，所述减压单元通过减压管路与所述腔室相连接，用于降低气压；供给单元Ⅱ，所述供给单元Ⅱ...
该专利属于苏州晶洲装备科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州晶洲装备科技有限公司授权不得商用。

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