温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开一种烘烤装置及基板烘烤方法，所述烘烤装置包括烘烤平台，用于装载基板，并对所述基板进行加热烘烤，所述烘烤平台装载基板的区域开设有至少一个通孔；所述装置还包括：用于提升基板的提升销，设于烘烤平台下并延伸至烘烤平台通孔内，其中，所述提升...
该专利属于武汉华星光电半导体显示技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉华星光电半导体显示技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。