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本发明提供一种进步的基板旋转装置、基板清洗装置、基板处理装置以及基板旋转装置的控制方法。该基板旋转装置具备：外筒；内筒，该内筒定位于外筒的内部；电机，该电机用于使内筒旋转；磁轴承，该磁轴承用于使内筒磁悬浮；以及基板保持部，该基板保持部设置于...
该专利属于株式会社荏原制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社荏原制作所授权不得商用。

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