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本发明提供一种基板用清洗件、基板清洗装置、基板处理装置、基板处理方法以及基板用清洗件的制造方法，基板清洗装置包括：保持被处理基板并使该被处理基板旋转的基板保持辊；以及边缘清洗部，该边缘清洗部与所述被处理基板的边缘部接触，并且至少与所述被处理...
该专利属于株式会社荏原制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社荏原制作所授权不得商用。

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