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本发明涉及退火装置。退火装置包括：被配置为容纳基板的主体；被配置为产生要被传输到主体的微波的微波产生单元；被配置为将微波从微波产生单元传输到主体的入射单元；以及布置在入射单元与主体之间的衍射单元。衍射单元被配置为在微波被传输到主体之前使微波...
该专利属于三星显示有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过三星显示有限公司授权不得商用。

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