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本公开涉及一种用于处理多个基板的竖炉和用于其中的衬管。竖炉包括具有中心轴线的外反应管；和构造成在外反应管的内部中延伸的衬管。衬管限定用于容纳基板的内部空间并且设置有从内部空间延伸到外部的排气孔。衬管的外壁和反应管的内壁中的一个设置有流动偏转...
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