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本发明属于半导体芯片加工设备领域，具体涉及一种去应力腐蚀机的芯片旋转装置，解决了现有技术中去应力腐蚀机的芯片腐蚀不均匀的缺陷，其包括花篮、片盒托板、水平转动轴、水平转动齿轮、芯片旋转件、电机、竖直转动轴、竖直转动轴支架；竖直转动轴位于竖直转...
该专利属于河北广创电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过河北广创电子科技有限公司授权不得商用。

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