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一种钛酸锶表面电子气PN结的制备方法技术
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文档序号:23402502
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本发明公开了一种钛酸锶表面电子气PN结的制备方法,属于材料技术领域。本发明在钛酸锶基片表面沉积或粘贴P型材料,利用光刻技术将P型材料表面的部分面积用光刻胶覆盖,用离子束将未被光刻胶覆盖的P型材料全部刻蚀掉后,再经刻蚀钛酸锶衬底使其表面形成钛...
该专利属于苏州科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过苏州科技大学授权不得商用。
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