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本实用新型涉及一种蚀刻系统。该蚀刻系统包括动力装置、第一输送管、第二输送管及喷淋装置;动力装置用于输送药液;第一输送管和第二输送管与动力装置连接,第一输送管与第二输送管呈对称分布;动力装置将药液分别输送给第一输送管和第二输送管;喷淋装置包括...该专利属于惠州市捷成机电设备股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过惠州市捷成机电设备股份有限公司授权不得商用。
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本实用新型涉及一种蚀刻系统。该蚀刻系统包括动力装置、第一输送管、第二输送管及喷淋装置;动力装置用于输送药液;第一输送管和第二输送管与动力装置连接,第一输送管与第二输送管呈对称分布;动力装置将药液分别输送给第一输送管和第二输送管;喷淋装置包括...