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本实用新型涉及一种压力装置，尤其涉及一种用于碳化硅炉炉腔压力控制的控压装置。包括碳化硅炉腔体，碳化硅炉腔体设有腔体进气口与腔体出气口；腔体出气口与主真空管路一端相连；主真空管路另一端与真空泵相连；主真空管路上设有真空阀与旁路支路；旁路支路为...
该专利属于浙江晶盛机电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江晶盛机电股份有限公司授权不得商用。

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