下载一种减少闪存流片中使用的光罩数量的方法及其应用的技术资料

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本发明涉及半导体制造技术领域,公开了一种减少闪存流片中使用的光罩数量的方法及其应用,方法包括采集闪存流片中现有光罩组的各光罩参数,并按照光罩标识号、光罩类型、封膜类型、光罩等级、图形明暗、图形种类参数进行分类,将光罩类型、封膜类型、图形明暗...
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