下载一种不同取向单变体氧化钇稳定氧化锆外延膜的制备方法的技术资料

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一种不同取向单变体外延氧化钇稳定氧化锆薄膜的制备及其铁弹性表征的简单方法,包括:将氧化钇稳定的氧化锆置入腔室中的靶材托上,并将所述腔室抽真空;将钛酸锶基底处理后置入所述腔室,并将所述腔室抽真空;将所述腔室内的所述钛酸锶基底加热至第一预设温度...
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