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多端口气体喷射系统及包括其的反应器系统技术方案
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文档序号:23360943
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本发明公开了一种气体喷射系统、包括所述气体喷射系统的反应器系统以及使用所述气体喷射系统和反应器系统的方法。气体喷射系统可用于气相反应器系统中,以独立地监测和控制联接到反应室的气体喷射系统的多个通道中的气体流速。...
该专利属于ASMIP控股有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过ASMIP控股有限公司授权不得商用。
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