下载多端口气体喷射系统及包括其的反应器系统的技术资料

文档序号:23360943

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本发明公开了一种气体喷射系统、包括所述气体喷射系统的反应器系统以及使用所述气体喷射系统和反应器系统的方法。气体喷射系统可用于气相反应器系统中,以独立地监测和控制联接到反应室的气体喷射系统的多个通道中的气体流速。...
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