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本文的实施方式涉及用于处理腔室中的具有多件式设计的腔室衬里。所述多件式设计可以具有内部部分和外部部分。所述外部部分的内表面的一部分可以被设计为在单个接合点处与所述内部部分的外表面接触，这样在所述内部部分与所述外部部分之间产生热阻挡，从而减少...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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