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等离子体处理装置包括：具有第一不平衡端子、第二不平衡端子、第一平衡端子和第二平衡端子的巴伦；被接地的真空容器；被电连接至第一平衡端子的第一电极；以及被电连接至第二平衡端子的第二电极。当Rp表示从第一平衡端子和第二平衡端子的侧来看第一电极和第...
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