下载产生负温度系数电阻器传感器的方法的技术资料

文档序号:23351650

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本发明系关于生产负温度系数电阻器(NTCR)传感器之方法,该方法包括步骤:提供包括在气胶生产单元中之未锻烧粉末及载体气体之混合物,该未锻烧粉末包括金属氧化物组成;由该混合物及该载体气体形成气胶并且于真空中加速该气胶朝向配置在沉积腔体中之基板...
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