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本申请公开了一种MEMS结构的形成方法，包括：在衬底的正面形成第一牺牲层和突出于所述衬底外的支柱，并且所述第一牺牲层的顶面与所述支柱的顶面平齐；在所述支柱和所述第一牺牲层上方形成压电复合振动层；去除所述第一牺牲层形成空腔。该MEMS结构采用...
该专利属于安徽奥飞声学科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽奥飞声学科技有限公司授权不得商用。

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