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本实用新型公开了一种气体供给系统，用于给用气组件供气，包括：厂务气源和备用气源，厂务气源通过管路连接用气组件；备用气源与厂务气源并联设置，备用气源被配置为在厂务气源异常时为用气组件供气。上述的气体供给系统包括备用气源，备用气源能够在厂务气源...
该专利属于上海微电子装备(集团)股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备(集团)股份有限公司授权不得商用。

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