温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本发明涉及硅晶圆加工领域，具体涉及一种硅圆晶连续提取装置，包括有吸附提取组件包括真空分配器和吸附载盘，真空分配器的输出轴连接有吸附载盘，角度调节组件包括角度调节器和安装座，真空分配器的侧部设有支撑架，支撑架上安装有角度调节器，支撑架上设有安...该专利属于苏师大半导体材料与设备研究院(邳州)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏师大半导体材料与设备研究院(邳州)有限公司授权不得商用。